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가스공급시스템 관련 문의

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작성자 서진원 댓글 0건 조회 44회 작성일 26-01-27 09:58

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안녕하세요. 티씨케이라는 회사의 서진원이라고 합니다.

가스공급시스템 관련 문의 드립니다.

액상 원료인 TCS(SiHCl3), DCS(SiH2Cl2)를 H2 또는 Ar로 bubbling 또는 vaporizing하여 공정로에 공급하는 장치가 필요합니다.

해당 내용에 대해 상세한 설명을 드리고 견적을 받고싶습니다.

확인 부탁드립니다.

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